国家/地区 | China(2) |
关键词 | |
出版物 | |
出版时间 | 2014(2) |
机构 | CHONGQING UNIV TECHNOL(2) |
作者 | WANG BB(2) |
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
WANG BB, ZHENG K, CHENG QJ, WANG L, CHEN CC, DONG GB
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
DANG C, CHE QL, GAO BL, LI L, WANG BB