国家/地区 China(2)
关键词 NANOSTRUCTURE(2)
出版物
出版时间 2014(2)
机构 YANTAI UNIV(2)
作者

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING

LIU W, WANG XZ, SONG JG, ZHANG Q, CHANG CT

APPLIED SURFACE SCIENCE

DAI ZH, ZHAO YC