国家/地区 | |
关键词 | ATOMIC LAYER DEPOSITION(2) |
出版物 | NANOTECHNOLOGY(2) |
出版时间 | 2017(2) |
机构 | |
作者 |
NANOTECHNOLOGY
CABREROVILATELA A, ALEXANDERWEBBER JA, SAGADE AA, ARIA AI, BRAEUNINGERWEIMER P, MARTIN MB, WEATHERUP RS, HOFMANN S
NANOTECHNOLOGY
LATZEL M, BUTTNER P, SARAU G, HOFLICH K, HEILMANN M, CHEN W, WEN X, CONIBEER G, CHRISTIANSEN SH