国家/地区 Japan(3)
关键词 INTERCALATION(3)
出版物
出版时间 2018(3)
机构
作者

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING

LI SX, NAKADE K, HIRANO T, KAWAI K, ARIMA K

JOURNAL OF PHYSICSCONDENSED MATTER

ENDO Y, ICHINOKURA S, AKIYAMA R, TAKAYAMA A, SUGAWARA K, NOMURA K, TAKAHASHI T, HASEGAWA S