| 国家/地区 | China（2） |
| 关键词 |
PLASMAENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PECVD（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 |
2019（2）
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| 机构 | SOUTHEAST UN.（2） |
| 作者 |
CHEN ZT（2）
GUO XL（2）
LI L（2）
LIU YY（2）
WANG YX（2） WANG ZM（2） ZHANG WJ（2） |
JOURNAL OF SOLID STATE ELECTROCHEMISTRY
CHEN ZT, GUO XL, LIU YY, ZHANG WJ, TANG X, ZHENG YM, WANG YX, LI L, WANG ZM, ZHAO YH
MATERIALS CHEMISTRY PHYSICS
CHEN ZT, LIU YY, ZHANG WJ, GUO XL, YIN LL, WANG YX, LI L, ZHANG Y, WANG ZM, ZHANG T