国家/地区 | Germany(2) |
关键词 | |
出版物 | |
出版时间 | 2019(2) |
机构 | IHP LEIBNIZ INST INNOVAT MIKROELEKT(2) |
作者 | LUKOSIUS M(2) |
THIN SOLID FILMS
AKHTAR F, DABROWSKI J, LISKER M, ZAUMSEIL P, SCHULZE S, JOUVRAY A, CABAN P, MAI A, WENGER C, LUKOSIUS M
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
FURSENKO O, LUKOSIUS M, BAUER J, VILLRINGER C, LUX H, BARWOLF F, LISKER M, MAI A