国家/地区 China(2)
关键词 PHOTOLITHOGRAPHY(2) PLANAR ONCHIP MICRO.(2)
出版物
出版时间 2020(2)
机构 HARBIN UNIV SCI TECHNOL(2)
作者 LI X(2)

INTEGRATED FERROELECTRICS

LIU FS, LIU CF, LI X, ZHANG LD, ZHAO WQ, ZHANG GY