| 国家/地区 |
Usa（2）
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| 关键词 | |
| 出版物 |
MICROMACHINES（2）
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| 出版时间 |
2020（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
MICROMACHINES
MONNE MA, GRUBB PM, STERN H, SUBBARAMAN H, CHEN RT, CHEN MY
MICROMACHINES
DEMIRCI S, CAN M, SAHINER N