| 国家/地区 |
China（2）
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| 关键词 |
SENSOR（2）
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| 出版物 |
MICROMACHINES（2）
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| 出版时间 |
2021（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
MICROMACHINES
CAO SH, WANG Q, GAO XF, ZHANG SJ, HONG RJ, ZHANG DW
MICROMACHINES
LIU L, SHI HX, LI RQ, LIU C, CHENG J, GAO L