国家/地区 |
Usa(2)![]() |
关键词 |
PECVD(2)![]() |
出版物 | |
出版时间 |
2022(2)![]() |
机构 | |
作者 |
ACS APPLIED NANO MATERIALS
LU CH, SHANG KM, LEE SR, TAI YC, YEH NC
ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES
LONGO RC, UEDA H, CHO K, RANJAN A, VENTZEK PLG