| 国家/地区 | |
| 关键词 |
MEMS（2）
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| 出版物 |
MICROMACHINES（2）
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| 出版时间 |
2022（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
MICROMACHINES
IRANI FS, SHAFAGHI AH, TASDELEN MC, DELIPINAR T, KAYA CE, YAPICI GG, YAPICI MK
MICROMACHINES
CHO JH, CAYLL D, BEHERA D, CULLINAN M