| 国家/地区 | China（2） |
| 关键词 | |
| 出版物 | |
| 出版时间 |
2020（2）
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| 机构 |
HENAN POLYTECH UNIV（2）
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| 作者 |
YI GY（2）
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RSC ADVANCES
FAN HY, YI GY, TIAN QM, ZHANG XX, XING BL, ZHANG CX, CHEN LJ, ZHANG YL
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
LV Y, XING BL, YI GY, GUO H, HUANG GX, ZHANG CX, LIU QR, ZHANG XX, CAO YJ, LI LC