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机构 JAPAN ADV INST SCI TECHNOL(2)
作者 KANETAKE N(2)

MICROMACHINES

SUN J, MURUGANATHAN M, KANETAKE N, MIZUTA H

Applied Physics Express

IWASAKI T, SUN J, KANETAKE N, CHIKUBA T, AKABORI M, MURUGANATHAN M, MIZUTA H