国家/地区 China(5)
关键词 INTERFACE EFFECT(5)
出版物
出版时间 2017(3)
机构 SHAANXI UNIV SCI TECHNOL(5)
作者 HE HY(4) HE Z(2) SHEN Q(2)

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING

HE HY, HE Z, SHEN Q