国家/地区 |
Japan(2)![]() |
关键词 |
METALASSISTED CHEMICAL ETCHING(2)![]() |
出版物 | |
出版时间 | |
机构 |
TOHOKU UNIV(2)![]() |
作者 |
ONO T(2)![]() |
MATERIALS RESEARCH BULLETIN
TOAN NV, TUOI TTK, LI JH, INOMATA N, ONO T
JOURNAL OF MICROMECHANICS MICROENGINEERING
LI JH, TOAN NV, WANG ZQ, ONO T