国家/地区 Japan（2）
关键词 MEMS（2）
出版物
出版时间
机构 TOHOKU UNIV（2）
作者 LI JH（2） ONO T（2） WANG ZQ（2）

Metal-assisted-chemical-etching of silicon nanowires for templating 3D graphene growth towards energy storage in microsystems

JOURNAL OF MICROMECHANICS MICROENGINEERING

LI JH, TOAN NV, WANG ZQ, ONO T

Constructing in-chip micro-supercapacitors of 3D graphene nanowall/ruthenium oxides electrode through silicon-based microfabrication technique

JOURNAL OF POWER SOURCES

LI JH, ZHU MJ, AN ZL, WANG ZQ, TODA M, ONO T