国家/地区 |
China(2)![]() |
关键词 |
NANOSTRUCTURE(2)![]() |
出版物 | |
出版时间 |
2014(2)![]() |
机构 |
YANTAI UNIV(2)![]() |
作者 |
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
LIU W, WANG XZ, SONG JG, ZHANG Q, CHANG CT
APPLIED SURFACE SCIENCE
DAI ZH, ZHAO YC