国家/地区 | |
关键词 | ATOMIC LAYER DEPOSITION(2) |
出版物 | ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES(2) |
出版时间 | 2016(2) |
机构 | |
作者 |
ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES
ARIA AI, NAKANISHI K, XIAO L, BRAEUNINGERWEIMER P, SAGADE AA, ALEXANDERWEBBER JA, HOFMANN S
ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES
JEON JH, JERNG SK, AKBAR K, CHUN SH