国家/地区
关键词 ATOMIC LAYER DEPOSITION(2)
出版物 ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES(2)
出版时间 2016(2)
机构
作者

ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES

ARIA AI, NAKANISHI K, XIAO L, BRAEUNINGERWEIMER P, SAGADE AA, ALEXANDERWEBBER JA, HOFMANN S