| 国家/地区 | China（2） |
| 关键词 |
PECVD（2）
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| 出版物 |
ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES（2）
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| 出版时间 | 2022（2） |
| 机构 | |
| 作者 |
WANG XR（2）
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ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES
CAO D, HAO YZ, WANG YH, BAI Y, LI Y, WANG XR, CHEN JH, WU C
ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES
CAO D, HAO YZ, WANG YH, BAI Y, LI Y, WANG XR, CHEN JH, WU C