国家/地区 Usa(3)
关键词 PECVD(3)
出版物 ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES(3)
出版时间 2021(2)
机构
作者 LU CH(2) YEH NC(2)

ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES

LONGO RC, UEDA H, CHO K, RANJAN A, VENTZEK PLG