国家/地区 | Usa(2) |
关键词 | MICROACTUATOR(2) |
出版物 | JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS(2) |
出版时间 | |
机构 | |
作者 |
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS
GUND V, RUYACK A, ARDANUC S, LAL A
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS
ROKNI H, LU W
国家/地区 | Usa(2) |
关键词 | MICROACTUATOR(2) |
出版物 | JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS(2) |
出版时间 | |
机构 | |
作者 |
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS
GUND V, RUYACK A, ARDANUC S, LAL A
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS
ROKNI H, LU W