| 国家/地区 | Usa(2) |
| 关键词 |
MICROACTUATOR(2)
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| 出版物 |
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS(2)
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| 出版时间 | |
| 机构 | |
| 作者 |
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS
GUND V, RUYACK A, ARDANUC S, LAL A
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS
ROKNI H, LU W
