| 国家/地区 | Usa（2） |
| 关键词 | |
| 出版物 |
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS（2）
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| 出版时间 |
2018（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS
WANG QG, WANG YF, DONG L
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS
GUND V, RUYACK A, ARDANUC S, LAL A