| 国家/地区 | Korea(2) |
| 关键词 | |
| 出版物 |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B(2)
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| 出版时间 |
2014(2)
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| 机构 | |
| 作者 |
PARK H(2)
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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
OH S, PARK H, JUNG Y, KIM J, KIM J, OH MS
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
PARK SJ, PARK H, LEE Y, YI Y, KANG SJ
