国家/地区 Japan(2)
关键词
出版物 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B(2)
出版时间 2012(2)
机构
作者

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

ASAYAMA Y, YASUDA M, TADA K, KAWATA H, HIRAI Y

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

YAMASHIRO Y, OHNO Y, MAEHASHI K, INOUE K, MATSUMOTO K