国家/地区 | Japan(2) |
关键词 | |
出版物 | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B(2) |
出版时间 | 2012(2) |
机构 | |
作者 |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
ASAYAMA Y, YASUDA M, TADA K, KAWATA H, HIRAI Y
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
YAMASHIRO Y, OHNO Y, MAEHASHI K, INOUE K, MATSUMOTO K