| 国家/地区 | |
| 关键词 |
RESONATOR（2）
|
| 出版物 |
MICROMACHINES（2）
|
| 出版时间 |
2022（2）
|
| 机构 | |
| 作者 |
MICROMACHINES
FAN SC, LU Y, ZHAO PC, SHI FT, GUO ZS, XING WW
MICROMACHINES
CHO JH, CAYLL D, BEHERA D, CULLINAN M