| 国家/地区 |
China（2）
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| 关键词 | CHEMICAL VAPOR DEPO.（2） |
| 出版物 |
MRS BULLETIN（2）
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| 出版时间 |
2017（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
MRS BULLETIN
HOU PX, DU JH, LIU C, REN WC, KAUPPINEN EI, CHENG HM
MRS BULLETIN
QING FZ, SHEN CQ, JIA RT, ZHAN LL, LI XS