国家/地区 中国(4)
IPC部 C(2) H(2)
IPC大类 C23(2) C30(2) H01(2)
IPC小类 C23C(2) C30B(2) H01L(2)
IPC C23C016/458(2) C30B025/12(2) C30B029/02(2)
H01L031/0224(2)
发明人 JIN H(4) PENG P(4)
公开年 2012(4)
申请年 2011(4)
专利权人 PENG P(4)