| 国家/地区 | 中国(4) |
| IPC部 | C(2) H(2) |
| IPC大类 |
C23(2)
C30(2)
H01(2)
|
| IPC小类 |
C23C(2)
C30B(2)
H01L(2)
|
| IPC |
C23C016/458(2)
C30B025/12(2)
C30B029/02(2)
H01L031/0224(2) |
| 发明人 | JIN H(4) PENG P(4) |
| 公开年 |
2012(4)
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| 申请年 | 2011(4) |
| 专利权人 |
PENG P(4)
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