| 国家/地区 | 世界知识产权组织(4) 美国(3) |
| IPC部 |
C(3)
B(2)
H(2)
|
| IPC大类 |
B82(2)
C01(2)
H01(2)
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| IPC小类 |
B82Y(2)
C01B(2)
H01L(2)
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| IPC | C01B031/04(2) H01L051/00(2) |
| 发明人 |
LETTOW J S(3)
BROOKS L(2)
SCHEFFER D(2)
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| 公开年 |
2014(4)
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| 申请年 | 2013(2) 2014(2) |
| 专利权人 |
VORBECK MATERIALS(4)
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HEUSER R, KACZMARCZYK J, LETTOW J S
COSTA J, EMMONS P H, GIBBS P A J, LETTOW J S, MCKENNA T, MONIE S, NOYCE P, SCHEFFER D
