国家/地区 世界知识产权组织(4) 美国(3)
IPC部 C(3) B(2) H(2)
IPC大类 B82(2) C01(2) H01(2)
IPC小类 B82Y(2) C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2) H01L051/00(2)
发明人 LETTOW J S(3) BROOKS L(2) SCHEFFER D(2)
公开年 2014(4)
申请年 2013(2)  2014(2) 
专利权人 VORBECK MATERIALS(4)