| 国家/地区 | 中国(8) |
| IPC部 | H(4) C(3) |
| IPC大类 |
H01(4)
C23(3)
C30(2)
|
| IPC小类 |
C23C(3)
H01L(3)
C30B(2)
|
| IPC |
C23C016/26(2)
C23C016/458(2)
C30B025/12(2)
C30B029/02(2) H01L031/0224(2) |
| 发明人 |
PENG P(8)
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| 公开年 | 2012(7) |
| 申请年 |
2011(8)
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| 专利权人 | PENG P(4) JIN H(3) CHANGZHOU ER.(2) |
SONG B, PENG P, JIN H
JIN H, PENG P
