国家/地区 美国(3)
IPC部 H(3) G(2)
IPC大类 H01(3)
IPC小类 H01L(3)
IPC H01L029/16(2) H01L029/66(2)
发明人 ZETTL A K(3)
公开年 2016(2)
申请年 2015(2) 
专利权人 ZETTL A K(3)