国家/地区 美国(2)
IPC部 G(2) H(2)
IPC大类 G01(2) H01(2)
IPC小类 G01N(2) H01L(2)
IPC
发明人 ZETTL A K(2)
公开年 2011(2)
申请年 2010(2) 
专利权人