国家/地区 台湾（2）
IPC部 B（2）
IPC大类 B01（2）
IPC小类 B01J（2）
IPC B01J021/18（2）
发明人
公开年 2019（2）
申请年
专利权人

Catalyst for synthesizing graphene used for multi-layered pellicle stack, pellicle and lithography apparatus comprises layer comprising a transition metal, base layer and interlayer which is disposed between base layer and first layer.

KURGANOVA E, GIESBERS A J, KLEIN A L, NASALEVICH M A, NOTENBOOM A W, PETER M, VAN ZWOL P, VLES D F, VOLLEBREGT S, VOORTHUIJZEN W, GIESBERS A J M, VANZWOL P

Photocatalyst composition useful in air filtration structure comprises titanium dioxide, graphene and photoconductive materials.

YAN J, KAN W, YAN C, GAN W