国家/地区 美国(3)
IPC部 C(3) B(2)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B032/198(3)
发明人 JANG B Z(3) LIN Y(3) LEE H(2)
ZHAMU A(2)
公开年 2021(3)
申请年 2019(3) 
专利权人 NANOTEK INSTR INC(3)