国家/地区 中国(14) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(16)
IPC大类 C01(16) H01(15) B82(3)
IPC小类 C01B(16)
IPC C01G053/00(16)
发明人 ZENG H(3) LIU Y(2) WANG J(2)
WANG Z(2) YAMAZAKI S(2) ZHANG K(2)
ZHANG Y(2)
公开年 2022(16)
申请年 2021(9)  2022(7) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)