国家/地区 中国(2)
IPC部 C(2)
IPC大类 C23(2)
IPC小类 C23C(2) H01L(2)
IPC C23C014/14(2)
发明人 WANG C(2)
公开年 2016(2)
申请年 2016(2) 
专利权人 LIAONING ADV.(2) SHENYANG INS.(2)