国家/地区 中国(13) 美国(6) 日本(4) 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 台湾(2)
IPC部 C(16)
IPC大类 C23(16) C01(9) C25(4)
H01(4) B82(3) B08(2)
B32(2) C04(2) C30(2)
IPC小类 C23C(16) C01B(9) B08B(2)
B32B(2) B82B(2) B82Y(2)
C04B(2) C25D(2) C25F(2)
C30B(2) H01G(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(16)
发明人 ZHANG X(3) CHEN L(2) DENG K(2)
JIN H(2) LIU Z(2) PENG P(2)
QI X(2) YANG H(2) ZHANG W(2)
ZHANG Z(2)
公开年 2015(16)
申请年 2014(10)  2015(4)  2013(2) 
专利权人 CHANGZHOU 2D.(2)