国家/地区 韩国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3) H01(3) C01(2)
IPC小类 C23C(3)
IPC C23C016/26(3)
发明人 KIM S Y(2) YANG C M(2)
公开年
申请年 2019(2) 
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(3)