| 国家/地区 | |
| IPC部 | B(2) C(2) |
| IPC大类 |
B32(2)
|
| IPC小类 |
B32B(2)
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| IPC |
C23C016/26(2)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 |
2021(2)
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| 专利权人 |
GONG M, SUN B, WANG Y, CHEN Q, YANG W, LI Y, LIANG J, LIU B, ZHANG X, PEI Z
GU T J, JANG W, SEO Y, WHANG D, WHANG D M, SEO Y M, JANG W S
