| 国家/地区 | 中国(2) 韩国(2) 美国(2) |
| IPC部 | C(4) D(4) |
| IPC大类 |
C01(4)
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| IPC小类 |
C01B(4)
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| IPC |
C23C016/26(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | 2016(2) |
| 专利权人 |
QIN C, LI T, WANG Q, LOU H, SHI L, LUO L, HUANG S
BAE S, KIM S J, RHO H K, LEE S K, KIM T W, LEE D S, LEE S H
MALECKI H C, DAHNE J L, LOEBACH J P, GAIGLER R L, LEDFORD J T, MALECKI H, DAHNE J, LOEBACH J, GAIGLER R, LEDFORD J
