| 国家/地区 | 中国(2) |
| IPC部 |
B(2)
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| IPC大类 |
B21(2)
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| IPC小类 |
C23C(2)
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| IPC |
C23C028/00(2)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
PAN F, WANG Y, LUO H, TANG B, LI J, CHEN X
SHIVAREDDY S, BOHM S, PATOLE S, THAKUR D B, VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S
