| 国家/地区 |
中国(3)
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| IPC部 |
C(3)
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| IPC大类 | C23(3) H01(3) |
| IPC小类 |
C23C(3)
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| IPC |
C23C016/26(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2022(3)
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| 申请年 | 2021(3) |
| 专利权人 |
ZHANG X, LEI W, ZHAO Z, ZHAO N
LIU H, GUAN L, WANG B, ZHANG W, XIONG Y
QIN C, LI T, WANG Q, LOU H, SHI L, LUO L, HUANG S
