| 国家/地区 |
中国(4)
|
| IPC部 |
B(4)
|
| IPC大类 |
B82(4)
|
| IPC小类 |
B82Y(4)
C01B(4)
C23C(4)
H01L(3) B32B(2) C09D(2) H01G(2) |
| IPC |
B82Y040/00(4)
C01B031/04(4)
B82Y030/00(3)
C01B031/02(3) C01B000/00(2) C01B032/186(2) C23C016/26(2) H01L021/02(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(2) |
| 申请年 | 2013(3) |
| 专利权人 |
OZKAN C S, OZKAN M, GUVENC A B, PAUL R K, LIN J, GHAZINEJAD M, PENCHEV M, GUO S, ZHONG J, HAYASHI K
PAWLOSKI A R, BENNETT G S, CERNOHOUS J J, KASKE K, SZYMANSKI A E
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G
