国家/地区 中国(2) 美国(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 C01(3) B82(2) C04(2)
C23(2) H01(2)
IPC小类 C01B(3)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B032/184(2)
C04B035/583(2) C04B035/622(2) C04B035/653(2)
C23C014/06(2) H01L021/02(2)
发明人 YU C(3) HU S C(2) LIN I(2)
SUNG C(2)
公开年
申请年
专利权人 YU C(3)