| 国家/地区 |
中国（2）
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| IPC部 |
C（2）
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| IPC大类 | C23（2） F04（2） |
| IPC小类 |
C23C（2）
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| IPC |
C23C004/134（2）
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| 发明人 |
ZHANG D（2）
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| 公开年 | 2017（2） |
| 申请年 | 2016（2） |
| 专利权人 | WUXI MINGSHE.（2） |
