国家/地区 | |
IPC部 |
B(2)![]() |
IPC大类 |
C09(2)![]() |
IPC小类 |
C09K(2)![]() |
IPC |
C23C016/26(2)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 |
2022(2)![]() |
专利权人 |
SCHMIDT W R, ELWARDANY T I, SHE Y, SHARON J A
CHEN L, CHEN S, YIN Y, ZHOU J, ZHOU Q, QI X