| 国家/地区 | 美国(3) 中国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
B(4)
|
| IPC大类 |
B32(4)
|
| IPC小类 |
B32B(4)
C23C(4)
B82Y(3)
G02F(3) H01L(3) C01B(2) C09D(2) |
| IPC |
B32B009/04(4)
|
| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | 2013(2) |
| 专利权人 |
OEZYILMAZ B, KAHYA O, OZYILMAZ B
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
