国家/地区 美国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B32(3)
IPC小类 B32B(3)
IPC C23C016/26(3)
发明人
公开年
申请年
专利权人

KIM T H, KIM Y K, KEE S B, KIM S K, IM C G, HO K T, GWON K Y, BEOM G S, GUK K S, GYU I C