国家/地区 | 日本(5) 中国(4) 美国(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 德国(2) |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
B32(5)![]() |
IPC小类 |
B32B(5)![]() |
IPC |
C23C026/00(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2012(2) |
申请年 | |
专利权人 |
OKIKAWA Y, YAMADA T, HASEGAWA M
REN W, GAO L, MA L, CHENG H
HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H
ADLER U, RODE D, BURESCH I, WANG J, FRECKMANN D, SCHMIDT H, ROHDE D, WANG Y