国家/地区 日本(2)
IPC部 B(2)
IPC大类 B82(2) C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2)
IPC C01B025/45(2)
发明人 YUGAWA M(2)
公开年 2013(2)
申请年
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)

TODORIKI H, YUKAWA M, SAITO Y, YAMAKAJI M, YATABE R, IKENUMA T, TODOROKI H, YUGAWA M, YONEDA Y, TSUKUDA R